半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购
· 2025-05-29
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| 采购计划信息 |
| 申报计划月份： | 2024年3月份 |
| 计划编号： | JH202505358 |
| 申报部门： | 集成电路学院 |
| 填表人： | *** |
| 填表时间： | 2025-05-06 |
| 采购项目信息 |
| 采购项目(品目)名称： | 半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购 |
| 采购类型： | 招标采购 |
| 预算： | 1,499,800.00 元 |
| 采购方式： | 公开招标(政府采购) |
| 联系人： | *** |
| 联系电话： | *** |
| 备注： | |
| 招标设备信息 |
| 设备名称 | 类别 | 单价(元) | 数量 | 需求时间 | | 二更-洁净室衣柜-二次配系统 | 实验室设备 | 8300.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 化学品暂存间-大化学品柜-二次配系统 | 实验室设备 | 49000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 工艺辅房4-化学品管理系统-二次配系统 | 实验室设备 | 5000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 湿法-清洗系统 （双槽，去胶）-二次配系统 | 实验室设备 | 60000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 刻蚀-Haasrode Avior-二次配系统 | 实验室设备 | 110000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 刻蚀-Scrubber01-二次配系统 | 实验室设备 | 56000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 湿法-单片清洗系统-二次配系统 | 实验室设备 | 81000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 二更-洗手台-二次配系统 | 实验室设备 | 4800.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 镀膜-FS450-二次配系统 | 实验室设备 | 38000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 镀膜-Shale T-二次配系统 | 实验室设备 | 247000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 镀膜-FS450-二次配系统 | 实验室设备 | 38000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 刻蚀-等离子清洗机-二次配系统 | 实验室设备 | 41000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 刻蚀-MPR-6-二次配系统 | 实验室设备 | 64000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 本科-H94-25C-二次配系统 | 实验室设备 | 16000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 湿法-甩干机-二次配系统 | 实验室设备 | 40000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 本科-VZZ-300-二次配系统 | 实验室设备 | 6800.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 毒腐气体间-Scrubber03-二次配系统 | 实验室设备 | 56000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 工艺辅房5-冰箱-二次配系统 | 实验室设备 | 4100.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 湿法-通风柜（普通）-二次配系统 | 实验室设备 | 42000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 化学品暂存间-化学品管理系统-二次配系统 | 实验室设备 | 5800.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 光刻-金相显微镜-二次配系统 | 实验室设备 | 2700.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 湿法-清洗系统(四槽)-二次配系统 | 实验室设备 | 61000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 本科-H94-25C-二次配系统 | 实验室设备 | 17000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 工艺辅房4-小化学品柜-二次配系统 | 实验室设备 | 21000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 镀膜-Shale A-二次配系统 | 实验室设备 | 247000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 刻蚀-OLYMPUS-二次配系统 | 实验室设备 | 2700.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 本科-黄光间通风橱-二次配系统 | 实验室设备 | 16600.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 本科-H94-25C-二次配系统 | 实验室设备 | 16000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 本科-青岛金立盾氧化扩散炉-二次配系统 | 实验室设备 | 87000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | | 镀膜-Scrubber02-二次配系统 | 实验室设备 | 56000.00 | 1 套 | 2025-05-16 | |
| 采购(招标)委托 |
| 委托编号 |
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