精密研磨抛光机
· 2022-09-27
| 精密研磨抛光机 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 精密研磨抛光机 |
| 预算金额： | 185.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A030606非金属矿物切削加工设备 |
| 采购需求概况： | 可研磨并抛光多种半导体材料，如AlN;Si、SiC、Ge、Ge-Si、GaN、GaAs、 Al2O3; GaAs; GaN; Ge; InP; Si; SiC; Si2N4等。研磨尺寸：兼容6寸及一下晶片；研磨速度2-1000μm/min；单片厚度偏差≤5μm，晶片间的厚度偏差≤3μm；单一砂轮/双砂轮可选。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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