北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目评标结果公示公告(1)
· 2023-06-18
项目名称：北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
招标项目编号：1495-234thhrlab02/11
招标范围：产品名称：LPCVD设备数量：1台简要技术规格：LPCVD设备是一种半导体芯片加工设备，数量1台，包含4根炉管，具体规格如下：1）在硅片表面沉积多晶硅(poly),厚度500nm~1000nm；2）在硅片表面沉积氧化硅（TEOS），厚度100nm~2000nm；3）在硅片表面沉积氮化硅（Si3N4），厚度50nm~500nm；4）在硅片表面沉积氧化硅（LTO），厚度50nm~1000nm；
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-06-14 09:30
公示开始时间：2023-06-18 16:18
评标公示截止时间：2023-06-21 23:59
中标候选人名单：无中标人
招标项目编号：1495-234thhrlab02/11
招标范围：产品名称：LPCVD设备数量：1台简要技术规格：LPCVD设备是一种半导体芯片加工设备，数量1台，包含4根炉管，具体规格如下：1）在硅片表面沉积多晶硅(poly),厚度500nm~1000nm；2）在硅片表面沉积氧化硅（TEOS），厚度100nm~2000nm；3）在硅片表面沉积氮化硅（Si3N4），厚度50nm~500nm；4）在硅片表面沉积氧化硅（LTO），厚度50nm~1000nm；
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-06-14 09:30
公示开始时间：2023-06-18 16:18
评标公示截止时间：2023-06-21 23:59
中标候选人名单：无中标人
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